Français En raison de son indice de réfraction élevé et de sa robustesse relative, TiO2₂ est privilégié pour une utilisation dans les régions visibles et proches de l'infrarouge, mais il est difficile d'obtenir des résultats stables par lui-même. Les rapports simulés des atomes d'oxygène et de titane dans les matières premières TiO₂, Ti2O3, TiO, Ti sont respectivement de 2,0,1,67,1,5,1.0,0. Plus tard, il a été constaté que le matériau avec un rapport de 1,67 était relativement stable et générait une couche de film robuste avec un indice de réfraction répétitif de 2,21 à environ 550nm. La première couche du matériau avec un rapport de 2 produisait un indice de réfraction d'environ 2,06, tandis que l'indice de réfraction des couches de film suivantes était proche de 2,21. Le matériau avec un rapport de 1,0 a nécessité 7 couches de film pour réduire l'indice de réfraction de 2,38 à 2,21. Ces types de matériaux de film n'ont aucune absorption. Presque toutes les vapeurs de TiO2 suivent un principe d'absorption négligeable dans la région spectrale utilisable, ce qui peut réduire la limitation de la pression d'oxygène, de la température et de la vitesse de vapeur. Le TiO2 nécessite l'utilisation d'un placage assisté par IAD, avec l'orifice d'entrée d'oxygène sous le déflecteur.
Le Ti3O5 est plus cher que les autres types d'oxydes, mais de nombreuses personnes pensent que le risque d'instabilité dans ce matériau est plus faible. PULKER et al. ont souligné que l'indice de réfraction final et la non-absorbance changent avec la pression d'oxygène et la température d'évaporation. Une température de substrat plus élevée entraîne un indice de réfraction plus élevé. Par exemple, lorsque la température du substrat est de 400 degrés, l'indice de réfraction obtenu à une longueur d'onde de 550 nm est de 2,63. Cependant, pour d'autres raisons, l'évaporation à haute température n'est généralement pas populaire et le placage assisté par ions est devenu une méthode couramment utilisée. Il peut atteindre une réfraction relativement élevée à basse température ou même à température ambiante, nécessitant généralement suffisamment d'oxygène pour éviter (réduction de la transmittance due à l'absorption). Cependant, il peut également être nécessaire de réduire l'absorption et d'augmenter le seuil de dommage laser (LDT). L'indice de réfraction du TiO2 est étroitement lié au degré de vide et au taux d'évaporation, mais ce problème peut être résolu par une préfusion suffisante et un placage assisté par IAD. Français Par conséquent, TiO2 est très populaire dans les spectres visible et proche infrarouge. Lorsqu'on utilise une source d'ions à grille blindée pour le dépôt de TiO2 dans l'IAD, elle nécessite 200 EV pour l'évaporation, tandis que l'utilisation d'une source d'ions à grille non blindée pour l'évaporation nécessite 333 EV ou moins, où l'énergie moyenne est estimée à environ 60 % de la tension d'attaque. Si l'énergie ionique dépasse les valeurs ci-dessus, TiO2 absorbera. SiO2, en revanche, a une évaporation par canon à électrons qui peut fournir 600 EV d'énergie de collision (rayonnement ionique) sans aucun effet indésirable. Dans le processus TiO2/SiO2, une tension d'attaque de 300 EV est utilisée, dans le but d'utiliser une source d'ions sans grille dans les deux matériaux pour éviter de modifier la tension d'attaque pour chaque couche. Le choix de la tension de commande dépend de la plage autorisée par TiO2, tandis que la vitesse de vaporisation dépend de la plage autorisée par les films entièrement denses et non absorbants. TiO2₂ est utilisé pour les films antireflets, les films spectroscopiques, les films à lumière froide, les filtres, les films à haute réflexion, les films pour lunettes, les réflecteurs thermiques, etc., en granulés noirs et en flocons blancs, avec un point de fusion de 1175 degrés
Plage de transmission (nm) indice de réfraction (N) 500 nm Température d'évaporation (degré) Source d'évaporation application émissions de gaz impures
400-12000 2.35 2000-2200 pistolet électronique, film antireflet, multi transparence
Le TiO2 est utilisé pour les films antireflets, les films décoratifs, les filtres et les films à haute réflexion
Ti2O3 utilisé pour les filtres à film antireflet, les films de lunettes à film à haute réflexion